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4亿美元巨兽：芯片制造的划时代机器

这台价值4亿美元的巨型机器，重达150吨，体积堪比双层巴士，内部密布着精密铣削铝件、数千根管路和加压罐。荷兰ASML公司技术主管Jos Benschop爬梯登上这台下一代高数值孔径EUV光刻机，它将是未来3纳米以下芯片制造的核心。本文深度解